[发明专利]蒸发物体涂层材料的装置无效
| 申请号： | 01805258.4 | 申请日： | 2001-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1404620A | 公开（公告）日： | 2003-03-19 |
| 发明（设计）人： | 帕维尔·霍卢巴日;幕伊米尔·伊列克 | 申请（专利权）人： | SHM公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王敬波 |
| 地址： | 捷克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过物理方法(PVD)使用低压电弧蒸发物体涂层的材料的装置，此装置配有一个磁场源(4a，4b，4)和电弧的一个阳极(3)和一个阴极(2a，2b，2)。至少一个阴极(2a，2b，2)和至少一个磁场源(4a，4b，4)可在涂层腔(1)中旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 物体 涂层 材料 装置 | ||
【主权项】：
1、通过物理方法使用低压电弧蒸发用于物体涂层的材料的装置，此种装置配有一个磁场源和电弧的一个阳极和一个阴极，其特征在于至少一个阴极(2a，2b，2)和至少一个磁场源(4a，4b，4)可在一涂层腔(1)中关于彼此绕枢轴旋转。
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