[发明专利]倒锥形抗蚀图案的形成方法有效
| 申请号： | 01805988.0 | 申请日： | 2001-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN1408078A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 小林聪 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;H01L21/027;H05B33/22;H05B33/14;H05B33/12 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法，其特征在于负性感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂，该树脂由用通式(I)代表的羟甲基双酚化合物、醛和任选的苯酚化合物缩聚得到，(B)交联剂和(C)光致酸生成剂。本发明形成的图案为良好的倒锥形图形，在喷射法中，它可以成为抗蚀图案，并可以作为有机EL板的隔离层。 | ||
| 搜索关键词： | 锥形 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.使用负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法，其中负性感光树脂组合物包括碱溶性树脂，该树脂由通式(I)代表的羟甲基双酚化合物和醛缩聚得到，根据需要任选加入苯酚类化合物：其中R1到R4分别代表氢原子、C1到C3的烷基或-CH2OH，并且R1到R4中至少一个代表-CH2OH，以及R5和R6分别代表氢原子或C1到C3烷基。
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