[发明专利]用于芯片处理的集成全波长分光计有效
| 申请号： | 01809894.0 | 申请日： | 2001-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1447915A | 公开（公告）日： | 2003-10-08 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;T·恩戈;C·－H·黄;A·刘;F·卡维 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 吴立明,梁永 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 具有控制处理室的计算机系统的处理室连接到一个或多个分光计。分光计可能是干涉仪的一部分或者可能是光发射分光计。分光计可以是2048个元件的CCD或光敏二极管阵列。输入板形成计算机系统的一部分，并直接连接到分光计。输入板将分光计的数据提供到可由计算机系统的CPU直接访问的双端口存储器中。在输入板上状态机和加法器的使用允许将分光计的数据计算和放置到双端口存储器中，从而不需要CPU进行这种放置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 芯片 处理 集成 波长 分光计 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，包括：等离子体处理室；连接到等离子体处理装置的计算机，包括：第一CPU；连接到第一CPU的CPU总线；以及连接到CPU总线的第一输入板；和连接到输入板的第一分光计。
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