[发明专利]用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法无效
| 申请号： | 01812974.9 | 申请日： | 2001-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN1443315A | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;M·帕德马纳本;R·R·戴米尔 | 申请（专利权）人： | 科莱恩金融(BVI)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 英属维尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化学放大体系，它对300nm和100nm之间的波长敏感，并包含a)一种不溶于碱性水溶液且包含至少一个酸不稳定基团的聚合物，b)一种能够在辐射时生产酸的化合物。本发明包含一种由脂环族烃烯烃，具有侧环状部分的丙烯酸酯，和环状酸酐制成的聚合物。本发明还涉及一种用于成像这种光刻胶的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 深紫 外线 光刻 组合 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶组合物，包含以下混合物；a)不溶于碱性水溶液并包含至少一个酸不稳定基团的聚合物，且进一步其中该聚合物包含至少一个脂环族烃单元，至少一个环状酸酐和至少一个具有以下结构的单元：其中，R是H或(C1-C4)烷基，和R1是非芳族环状部分；和，b)一种能够在辐射时生产酸的化合物或化合物混合物。
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