[发明专利]压印制版用的透明模板与衬底之间间隙和取向的高精度控测方法无效
| 申请号： | 01815367.4 | 申请日： | 2001-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN1454333A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | T·百利;B·J·周;M·科尔博恩;S·V·斯瑞尼瓦萨恩;C·G·威尔森;J·埃克德特 | 申请（专利权）人： | 得克萨斯州大学系统董事会 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 张政权 |
| 地址： | 美国得克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 说明压印制版工艺中用的模板与衬底之间间隙和取向的高精度测量方法。这里提供的间隙和取向测量方法包括采用基于宽带光的测量技术。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 制版 透明 模板 衬底 之间 间隙 取向 高精度 方法 | ||
【主权项】：
1.一种判定图案模板与衬底之间的间隔的方法，其特征在于包含：将图案模板和衬底安装成相互具有间隔关系，使图案模板与衬底之间形成间隙；对图案模板和衬底施加含多个波长的光；监视从图案模板表面和衬底反射的光；根据监视的光判定图案模板的表面与衬底之间的距离。
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