[发明专利]湿法刻蚀方法无效
| 申请号： | 01817645.3 | 申请日： | 2001-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN1469939A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 比加尼·比加纳森;佩·比德森 | 申请（专利权）人： | 奥博杜卡特股份公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C25F3/14;//H05K3/06;H05K3/07 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王永刚 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 在刻蚀中，用于刻蚀基板(1)的刻蚀剂(4)按给定图形施加。在刻蚀之前，在基板(1)上按所述图形涂覆抗蚀剂层(2)，以限定出基板(1)的至少一个露出部分(3)。为了使底蚀最小，在刻蚀之前，在基板(1)上设置钝化物质也限定所述图形，即在露出部分(3)的周围。刻蚀期间钝化物质在周围形成刻蚀保护化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基板(1)的湿法刻蚀方法，其中施加刻蚀剂(4)用于按给定的图形刻蚀基板(1)，特征在于钝化物质设置在基板(1)上以限定所述图形，并且在于刻蚀期间钝化物质形成限定基板(1)上所述图形的刻蚀保护化合物，其中钝化物质包括与刻蚀期间含在刻蚀剂(4)中的成分反应的有效物质，形成刻蚀保护化合物，其中刻蚀剂(4)为溶液，其中有效物质包括溶解在刻蚀剂(4)中并与所述成分形成化合物的离子，该化合物至少在溶液中难以溶解。
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