[发明专利]表面粒子检测器

摘要

一种表面粒子检测器，包括：可在表面上滑动的扫描器探头(92)，用于对通过的粒子计数的粒子计数器(82)，和包括连接在扫描器探头和粒子计数器之间的一对管(38、40)的导管。粒子计数器包括泵(80)，该泵用于产生将来自表面的粒子通过扫描器和导管吸引到计数器然后再回到扫描器的气流。传感器(78)测量气流流率，控制器基于感测的气流流率控制泵的速度。导管通过第一连接器与粒子计数器相连，该第一连接器包含电子标记，以识别连接到导管另一端的扫描器的类型。控制器响应检测的电子标记控制粒子计数器。粒子计数器还包括可拆卸的滤芯，其具有捕捉用于实验室分析的计数的粒子的过滤元件。

主权项

1.一种用于计算采样表面上的粒子的数量的装置，包括：扫描器，具有至少一个用于接收来自采样表面的粒子的开口；粒子计数器，用于计算通过它的粒子的数量；导管，具有连接到扫描器的第一端和连接到粒子计数器的第二端，其中导管包括第一和第二管；粒子计数器，包括用于产生从扫描器开口开始流动、经过第一管、经过粒子计数器、然后经过第二管返回到扫描器的气流的泵，用以将粒子运送到粒子计数器以确定数量；传感器，用于测量气流的流率；和控制器，用于响应测量的气流的流率控制泵的速度，以在粒子计数器确定气流中的粒子的数量时保持气流处于恒定流率。