[发明专利]射频离子源无效
| 申请号： | 01822146.7 | 申请日： | 2001-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN1529898A | 公开（公告）日： | 2004-09-15 |
| 发明（设计）人： | M·L·朗福德;S·N·凯恩斯;A·J·马;I·B·普利桑茨 | 申请（专利权）人： | 英国国防部 |
| 主分类号： | H01J27/16 | 分类号： | H01J27/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳;梁永 |
| 地址： | 英国威*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 在空气压力范围内适合低功率工作的射频离子源，该离子源包含放电电极，一个阴极和一个阳极，该阴极通过相关的连接装置连接到射频信号源，调节该阳极以提供等离子放电可能发生的表面区域，该区域不大于放电可能发生的阴极区域。该阳极和阴极被做成相对另一个是可操纵的，以便减少系统的功率需求，并提供控制射频放电和电离的手段。扩展射频电离源，包含一组电极对，为不同环境下的使用提供灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 离子源 | ||
【主权项】：
1.射频离子源，该离子源包含拥有一个阴极和一个阳极的一对放电电极，该阳极用于提供等离子放电可能发生的表面区域，该区域基本不大于放电可能发生的阴极区域，以及可操作地连接到阴极以连接阴极和射频信号源的连接装置，其中该离子源还包含操纵一个或两个电极以调整电极间隔，使得在工作中可控制等离子放电的装置。
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