[发明专利]图像显示装置及其制造方法有效
申请号: | 02101780.8 | 申请日: | 2002-01-18 |
公开(公告)号: | CN1383027A | 公开(公告)日: | 2002-12-04 |
发明(设计)人: | 丰田善章;糸贺敏彦;秋元肇 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立制作所 |
主分类号: | G02F1/136 | 分类号: | G02F1/136;G09G3/36 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王以平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种对比度高且制造成本低的图像显示装置,在基板上具有多个薄膜晶体管和多个电容元件,其中在上述基板上有多条栅线和多条信号线;上述薄膜晶体管具有具有源区、漏区和沟道区的岛状半导体层;在该岛状半导体层和与上述栅线同层的栅极之间形成的第一绝缘膜;在上述岛状半导体层上方形成的层间绝缘膜;与信号线同层的源电极和漏电极;上述电容元件由与上述栅线同层的保存电极、在该保存电极上相接地形成的第二绝缘膜、和在该第二绝缘膜上相接地形成的与上述信号线同层的电极构成。 | ||
搜索关键词: | 图像 显示装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种图像显示装置,是在基板上具有多个薄膜晶体管和多个电容元件的图像显示装置,其中:在上述基板上具有多条栅线、和与该多条栅线呈矩阵状交叉的多条信号线;上述薄膜晶体管具有:具有源区、漏区和夹在它们之间的沟道区的岛状半导体层;在该岛状半导体层和与上述栅线同层的栅极之间形成的第一绝缘膜;在上述岛状半导体层上方形成的层间绝缘膜;通过在该层间绝缘膜上设置的开口部与上述源区和漏区接触的、与信号线同层的源电极和漏电极;上述电容元件由与上述栅线同层的保存电极、在该保存电极上相接地形成的第二绝缘膜、和在该第二绝缘膜上相接地形成的与上述信号线同层的电极构成。
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