[发明专利]精制显影液制造装置及精制显影液制造方法

摘要

提供显影液制造装置及方法,该装置备有供给且搅拌显影原液和纯水的调制槽、以及与该调制槽连接设置的正常化槽,正常化槽通过管路连接在形成电子电路的加工设备上。调制槽及正常化槽具有测定各自槽内的碱系显影液的碱浓度的第一及第二碱浓度测定装置。在调制槽中,根据第一碱浓度测定装置的测定值,调整供给槽内的显影原液的供给量及纯水的供给量中的至少一个,调制系碱显影液。该碱系显影液送给正常化槽,碱浓度被正常化后,通过管路送给加工设备。

主权项

1.一种精制显影液制造装置，通过管路连接到形成进行了精细加工的电子电路的加工设备上，制造该加工设备中使用的碱系显影液，其特征在于该装置备有：供给且搅拌显影原液和纯水，调制上述碱系显影液的调制槽；测定上述调制槽内的上述碱系显影液的碱浓度的第一碱浓度测定装置；根据上述第一碱浓度测定装置的测定值，调整供给上述调制槽的上述显影原液的供给量及上述纯水的供给量这两者中的至少一者的液供给控制装置；被供应来自上述调制槽的碱系显影液，且使该碱系显影液的碱浓度正常化的正常化槽；以及将上述碱系显影液从上述调制槽供给上述正常化槽，调整该调制槽中的该碱系显影液的液面高度以及该正常化槽中的该碱系显影液的液面高度的液供给·液面高度控制装置。