[发明专利]残余聚合物去除剂及其使用方法无效
| 申请号： | 02105270.0 | 申请日： | 2002-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN1441319A | 公开（公告）日： | 2003-09-10 |
| 发明（设计）人： | 吴敬斌;李宏文;洪宗裕;连楠梓 | 申请（专利权）人： | 旺宏电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/42;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高龙鑫,潘培坤 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种残余聚合物去除剂，应用于后金属去除工艺中，以有效去除基材上的残余聚合物。本发明的残余聚合物去除剂主要由链烷醇胺(alkanolamine)、糖醇(sugaralcohol)、及20％的水所组成。使用方法是，将含有待去除的残余聚合物的基材浸置于温度约60℃～70℃的组合物中约5～15分钟。残余聚合物去除剂的最初含水量自15％增加至本发明的20％，可使残余聚合物去除剂的生命周期自12小时延长至48小时。 | ||
| 搜索关键词： | 残余 聚合物 去除 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种残余聚合物去除剂，应用在后金属去除工艺，用以去除位于一基材上的一残余聚合物，该去除剂包含：链烷醇胺、糖醇、及含量为20％的水。
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