[发明专利]双向谐波耗散系统无效
| 申请号： | 02105948.9 | 申请日： | 2002-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN1384604A | 公开（公告）日： | 2002-12-11 |
| 发明（设计）人： | Y·K·乔拉;D·弗雷斯 | 申请（专利权）人： | 恩尼技术公司 |
| 主分类号： | H03H7/07 | 分类号： | H03H7/07 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 王岳,叶恺东 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种设备,其中双向谐波耗散滤波器包括耦合到在预定频率范围内提供射频信号的RF功率放大器的输入端子,用于在预定频率范围内向负载提供射频信号的输出端子,在输入端子和输出端子之间连接的低通滤波器,和多个耦合到低通滤波器的高通滤波器,其中多个高通滤波器接收并耗散超出预定频率范围的信号,并且其中多个高通滤波器对阻抗的影响在低通滤波器输入和输出被抵消。通过从RF功率放大器提供RF信号、把具有超出预定频率范围来自RF功率放大器的信号转移到第一高通滤波器、耗散超出预定频率范围的信号、以及从等离子体室接收谐波能量给第二高通滤波器并耗散谐波能量来实现RF发生器系统的能量耗散。 | ||
| 搜索关键词： | 双向 谐波 耗散 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于射频发生器系统的双向谐波耗散滤波器，所述系统用于在能够在预定频率范围内提供射频信号的功率源和负载之间耦合，所述滤波器包括：输入端子，耦合在预定频率范围内提供射频信号的功率源上，；输出端子，耦合所述负载，用于在预定频率范围向所述负载提供射频信号；具有输入和输出的低通滤波器，低通滤波器连接在输入端子和输出端子之间；并且多个耦合到低通滤波器的高通滤波器，其中多个高通滤波器耗散超过预定频率范围的信号，并且多个高通滤波器具有预定的选自包含电容和电感的组中的电路效应，所述效应通过低通滤波器在输入和输出被抵消。
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