[发明专利]模块式流体输送装置无效
| 申请号： | 02106830.5 | 申请日： | 2002-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1374474A | 公开（公告）日： | 2002-10-16 |
| 发明（设计）人： | 南·V·恩古云 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | F16L41/00 | 分类号： | F16L41/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置。该流体输送装置包括一个或多个模块式子组件,各子组件包括一个上部模块、一个下部模块和一个基座块。该上部模块包括一个用于与流体处理部件连接的通道,这样,该上部通道与流体处理部件流体连通。该下部模块包括一个用于与上部模块连接的下部通道,这样,该下部通道与上部通道流体连通。该下部模块包括流动通路,该流动通路包括下部通道。该基座块包括一个容器和一个通路。该上部模块装于该容器内,该下部模块穿过该通路。该模块式子组件可以包括一个隔板,该隔板有多个对齐孔,以便使上部模块和下部模块的流体连接孔对齐。还公开了一种使用该流体输送装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 模块 流体 输送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于将流体输送给一个或多个流体处理部件的流体输送装置，所述装置包括：一个上部模块，该上部模块包括一个上部通道，该上部模块与流体处理部件连接，这样，该上部通道与流体处理部件流体连通；一个下部模块，该下部模块包括一个下部通道，该下部模块与上部模块连接，这样，该下部通道与上部通道流体连通；以及一基座块，该基座块包括一个容器和一个通路，该上部模块装于该容器内，该下部模块穿过该通路。
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