[发明专利]电光基板装置及其制造方法、电光装置、电子装置基板装置的制造方法有效
申请号: | 02107797.5 | 申请日: | 2002-03-22 |
公开(公告)号: | CN1378290A | 公开(公告)日: | 2002-11-06 |
发明(设计)人: | 片山茂宪 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;G09F9/30;G02F1/136;G02F1/133 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 刘宗杰,王忠忠 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的课题是一种电光基板装置,它包括在基板上的像素电极和与该像素电极连接的像素开关用的TFT。该TFT是不具有体触点的SOI结构的P沟道型TFT。这样,适合于扩展各像素的开口区域,同时可以在各像素中构成性能比较高的晶体管,从而可以进行明亮而高品位的图像显示。 | ||
搜索关键词: | 电光 装置 及其 制造 方法 电子 | ||
【主权项】:
1.一种电光基板装置,其特征在于:在基板上具有绝缘体层;在该绝缘体层上形成的包含P型的源区和P型的漏区以及沟道区的N型的单晶半导体层;在上述沟道区的上述单晶半导体层上通过栅绝缘膜形成的栅极;与该栅极连接的扫描线;与上述源区和上述漏区中的一方连接的数据线;以及与上述源区和上述漏区中的另一方连接的像素电极,由上述单晶半导体层、上述栅绝缘膜和上述栅极构成开关控制上述像素电极的P沟道型晶体管。
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