[发明专利]碳化硅质材料热处理用夹具无效
| 申请号： | 02108008.9 | 申请日： | 2002-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN1376647A | 公开（公告）日： | 2002-10-30 |
| 发明（设计）人： | 木下寿治 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社;NGK阿德列克株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/56 | 分类号： | C04B35/56;C01B31/36 |
| 代理公司： | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种热处理用夹具,可以控制夹具自体随时间变形及因弯曲使热处理中的玻璃基板的变形,在具有稳定性和适宜的刚性的同时,具有可在比较短时间内高效率地进行玻璃基板的均匀热处理的优良热传导性,改善了更大型玻璃基板的载置或卸出时的操作性。玻璃基板在进行热处理时,为载置该玻璃基板而使用的板状热处理用夹具。该夹具的主相由碳化硅构成,在其表面设置有凹凸形状,表面的算术平均粗糙度Ra为0.01－200m,凹凸的平均间隔Sm与Ra的比(Sm/Ra)为500以下。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 材料 热处理 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种玻璃基板进行热处理时，为载置该玻璃基板所使用的热处理用夹具，其特征是主相由碳化硅构成，在其表面具有凹凸形状，表面的算术平均粗糙度Ra为0.01-200m，凹凸的平均间隔Sm与算术平均粗糙度Ra的比(Sm/Ra)为500以下。
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