[发明专利]离子束增强弧辉渗镀涂层装置及工艺无效
| 申请号： | 02110190.6 | 申请日： | 2002-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN1390975A | 公开（公告）日： | 2003-01-15 |
| 发明（设计）人： | 潘俊德;徐重;唐宾;田林海;张高会 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人： | 庞建英 |
| 地址： | 030003 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明离子束增强弧辉渗镀涂层装置及工艺属于金属材料表面改性的范畴，其特征是在加弧辉光离子渗镀装置中，加入一个中低能束离子源，利用真空电弧原理从金属阴极电弧源发射出的金属离子流，快速沉积于利用辉光加热的工件表面，然后由中低能离子束注入碳或氮，使其沉积层与工件基体形成扩散层和镀层，把多弧离子镀沉积速度快和离子束注入反冲形成伪扩散层有机结合起来，在较低温度的工件表面快速形成金属碳、氮化合物硬层涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 增强 弧辉渗镀 涂层 装置 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种离子束增强弧辉渗镀涂层装置其特征在于，是在极限真空度1×10-3～5×10-3Pa并能充入气体介质的真空容器(18)内，设置阴极转动系统，阴极电弧源系统，中低能离子源系统，同时配备有抽气、供气、测温系统，其阴极转动系统由被处理工件(14)、辅助源极(11)、阴极托盘(10)和转动机构(7)组成，阴极电弧源系统由阴极电弧源(3)、引弧钩(2)和电弧电源(4)组成，送气系统是由供气瓶(15)和送气口(16)组成，测温系统是由测温仪(13)和观察孔(12)组成，抽气系统由机械泵(9)和扩散泵(8)组成，工件(14)和辅助源极(11)置于阴极托盘(10)上，阴极电弧源(3)和引弧钩(2)置于真空钟罩壁(1)上，正对于工件(14)，中低能离子源(17)置于钟罩壁(1)的顶部，在阳极钟罩(1)和阴极电弧源(3)之间连接一连续可调0～100V、0～300A的直流电源(4)，在阳极钟罩(1)和阴极托盘(10)之间连接一个可调的0～1000V的直流负偏电源(6)，在阳极钟罩(1)和辅助源极(11)之间连接一个可调的0～1000V的直流电源(5)，其阴极电弧源(3)的电弧靶材由欲渗镀的金属和合金制成，形状为圆柱形等，直径和厚度为φ50～80×35～60mm，其工件(14)周围设置的辅助源极(11)为金属丝网，与工件保持一定距离，其钟罩(1)顶部安放的离子源(17)为中低能，大束流离子源。
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