[发明专利]一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器无效
| 申请号： | 02114617.9 | 申请日： | 2002-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1381397A | 公开（公告）日： | 2002-11-27 |
| 发明（设计）人： | 朱长纯;韩建强;刘君华 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;H03H9/00;H01L49/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器,该谐振器由在同一芯片上制作的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器组成,微桥谐振器和微悬臂梁谐振器材料相同,厚度相等或相近,制作工艺相同且同时制作,因而二者对温度变化可以同步响应;微桥谐振器和微悬臂梁谐振器距离在微米量级,因而温敏元件可精确反映微桥谐振器的温度。通过数据融合技术,作为温敏元件的微悬臂梁谐振器的谐振频率能够实时补偿温度变化对微桥谐振器谐振频率的交叉灵敏度,从而减小微桥谐振器谐振频率的温度系数,提高谐振器工作温度范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 温度 补偿 功能 频率 输出 复合 谐振器 | ||
【主权项】：
1、一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，其特征在于：由在同一芯片上制作的微桥谐振器[1]、微悬臂梁谐振器[2]和基片[3]组成，微桥谐振器[1]和微悬臂梁谐振器[2]材料相同，厚度相等或相近，同时制作，工艺相同；微悬臂梁谐振器[2]作为温敏元件，通过数据融合技术，微悬臂梁谐振器[2]的谐振频率能够实时补偿温度变化对微桥谐振器[1]谐振频率的交叉灵敏度。
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