[发明专利]无磁屏蔽型铁磁性靶材溅射阴极无效
| 申请号： | 02116687.0 | 申请日： | 2002-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN1397660A | 公开（公告）日： | 2003-02-19 |
| 发明（设计）人： | 杨会生;王燕斌;熊小涛 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科大华谊专利代理事务所 | 代理人： | 刘月娥 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种磁控溅射阴极及其溅射方法，其特征在于法兰(28)安装于真空室壁上，在法兰(28)上有密封胶圈(26)和固定螺栓孔(27)，基片(37)置于阴极上方进行溅射镀膜；对于具有轴对称的圆形磁控溅射阴极，铁磁性靶材由中心圆形靶材(21’)和外侧环型靶材(21)组成，中心圆形靶材与外侧环形靶材之间有5－60mm的间隙，溅射在间隙附近发生；靶材(21，21’)、磁极(22，22’)、磁铁(23，23’)和磁极背板(38)构成闭合磁路；其中磁极和磁极背板采用高饱和磁化强度材料；靶体(33)采用具有良好导热性的材料制造。在溅射过程中，等离子体中的离子对靶材表面的轰击，将有大量的热能产生，在靶体内构造出冷却水道(39)。本发明的优点在于克服了铁磁性靶材对磁路的屏蔽效应；增加一致性，易于安装和维护。 | ||
| 搜索关键词： | 屏蔽 铁磁性 溅射 阴极 | ||
【主权项】：
1、一种磁控溅射阴极，由法兰(28)、密封胶圈(26)、固定螺栓孔(27)、基片(37)组成；其特征在于：法兰(28)安装于真空室壁上，在法兰(28)上有密封胶圈(26)和固定螺栓孔(27)，基片(37)置于阴极上方进行溅射镀膜；对于具有轴对称的圆形磁控溅射阴极，铁磁性靶材由中心圆形靶材(21’)和外侧环型靶材(21)组成，可采用3-20mm厚的靶材；中心圆形靶材与外侧环形靶材之间有5-60mm的间隙，溅射在间隙附近发生；靶材(21，21’)、磁极(22，22’)、磁铁(23，23’)和磁极背板(38)构成闭合磁路；其中磁极和磁极背板采用高饱和磁化强度材料；靶体(33)采用具有良好导热性的材料制造，在靶体内构造出冷却水道(39)；
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