[发明专利]去除抗蚀剂材料的方法无效
| 申请号： | 02119873.X | 申请日： | 2002-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1387090A | 公开（公告）日： | 2002-12-25 |
| 发明（设计）人： | 丰田英志;井冈晴男 | 申请（专利权）人： | 日东电工株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;G03F7/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒,魏晓刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种去除存在于物件上的抗蚀剂材料的方法,即通过将压敏粘结剂片粘附到抗蚀剂材料表面上并以整体状态脱离压敏粘结剂片和抗蚀剂材料,从而从物件上去除抗蚀剂材料,在该方法中,脱离时抗蚀剂材料具有0.5MPa或更高的杨氏模量。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 抗蚀剂 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种去除抗蚀剂材料的方法，该方法包括：将压敏粘结剂片粘附到抗蚀剂材料上表面，抗蚀剂材料存在于物件上；以及同时脱离压敏粘结剂片和抗蚀剂材料，以从物件上去除抗蚀剂材料；其中，在脱离时，抗蚀剂材料具有0.5MPa或更高的杨氏模量。
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