[发明专利]用于加热衬底的方法无效
| 申请号： | 02120077.7 | 申请日： | 2002-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN1389592A | 公开（公告）日： | 2003-01-08 |
| 发明（设计）人： | H·埃格尔特;A·昆克尔;J·沃格特;R·梅耶尔;P·韦纳 | 申请（专利权）人： | 肖特玻璃制造厂 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/46 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥凌,林长安 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于加热衬底的方法和装置,其中要被涂覆的衬底的要被涂覆的表面被放置在加热装置上,所述加热装置用玻璃陶瓷板盖住,并具有和所述衬底匹配的槽,所述衬底从下方被加热到进行涂覆所需的处理温度,以及所述衬底从加热装置上被除去,并被引入涂覆室内进行涂覆。按照本发明的装置用于加热衬底,特别是玻璃衬底,所述衬底随后被涂覆。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加热 衬底 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于加热衬底的方法，其中a)要被涂覆的衬底的要被涂覆的表面被放置在加热装置上，所述加热装置用玻璃陶瓷板盖住，并具有和所述衬底匹配的槽，b)所述衬底从下方被加热到进行涂覆所需的处理温度，以及c)所述衬底从加热装置上被除去，并被引入涂覆室内进行涂覆。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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