[发明专利]双频共焦台阶高度显微测量装置无效
| 申请号： | 02120884.0 | 申请日： | 2002-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1384334A | 公开（公告）日： | 2002-12-11 |
| 发明（设计）人： | 殷纯永;林德教;柳忠尧;张蕊;徐毅 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华专利事务所 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于表面形貌测量技术领域,涉及双频共焦台阶高度显微测量装置,包括横向塞曼激光器,依次放置在该激光器发射端轴线上的分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、针孔、胶合透镜和偏振分光镜;放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜,放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜;还包括第二块分光镜,分别放置在该分光镜的反射光路上的格兰棱镜、会聚透镜、第二针孔和光电探测器,在其透射光路上的会聚透镜和光电探测器。本发明融合了双频激光干涉和扫描共焦显微技术以期提高分辨率和量程,同时满足了高测量精度和较大测量范围的要求,并具有较低的成本,不仅满足微电子技术近期发展的需要,也可以进一步推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 双频 台阶 高度 显微 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种双频共焦台阶高度显微测量装置，其特征在于，包括横向塞曼激光器，依次放置在该激光器发射端轴线上的第一块分光镜、法拉第盒、1/2波片、透镜、第一针孔、胶合透镜和偏振分光镜；放置在该偏振分光镜反射光路上的1/4波片和四面体棱镜，放置在该偏振分光镜透射光路上的1/4波片、显微物镜；还包括设置在该偏振分光镜的合光光路上的第二块分光镜，分别放置在该第二块分光镜的反射光路上的格兰棱镜、会聚透镜、第二针孔和光电探测器，在该第二块分光镜的透射光路上的会聚透镜和光电探测器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于清华大学，未经清华大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02120884.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
