[发明专利]用于低压微型器件微型壳体的微离子泵无效
| 申请号： | 02122757.8 | 申请日： | 2002-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN1390774A | 公开（公告）日： | 2003-01-15 |
| 发明（设计）人： | D·W·舒尔特;T·E·麦马洪;D·J·爱德华兹 | 申请（专利权）人： | 惠普公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;H01L49/00;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 罗朋,王忠忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种微离子泵(308、310、316、318)和制造微离子泵的方法，该位置里边可以包含在低压微型器件微型壳体(306)内。微离子泵包括隔开恒定距离的两个电荷板(308、310)，并且这两个电荷板由公知微型芯片制造技术制造，为了产生电离气体分子的垂直电场，在两个电荷板之间施加电压电位差。得到的带正电的离子被吸收到电荷板上，由此从低压微型壳体内除去气体分子并保持包围密封的微型器件(302)的低压环境。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 低压 微型 器件 壳体 离子 | ||
【主权项】：
1、一种包含在低压微型壳体内的微离子泵(308、310、316、318)，该微离子泵包括：第一电荷板(308)；与第一电荷板隔开一段距离的第二电荷板(310)；和耦连到第一电荷板和第二电荷板的电路(316、318)，在第一电荷板和第二电荷板之间建立电压电位差，该电压电位差感应电场，低压微电子器件内的气体分子与在电场中加速的电子碰撞，产生在与电子相反的方向加速的离子，以便离子被吸收到第一和第二电荷板的更负的一个上。
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