[发明专利]金属研磨液材料、金属研磨液、其制造方法及使用它的研磨方法有效
| 申请号： | 02123007.2 | 申请日： | 1999-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN1392215A | 公开（公告）日： | 2003-01-22 |
| 发明（设计）人： | 内田刚;星野铁哉;寺崎裕树;上方康雄;小山直之;本间喜夫;近藤诚一 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京银龙专利代理有限公司 | 代理人： | 熊志诚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明可以提供一种含有氧化剂、氧化金属溶解剂、保护膜形成剂、该保护膜形成剂助剂和水的金属研磨液，其制造方法及使用其的研磨方法。而且作为这种金属研磨液的制备材料，本发明还可以提供一种含有氧化金属溶解剂、保护膜形成剂和该保护膜形成剂助剂的金属研磨液材料。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 研磨 材料 制造 方法 使用 | ||
【主权项】：
1.一种即使在0℃保存也不会析出固体的金属研磨液材料。
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