[发明专利]片状基板的移动装载装置及其贮存装置

摘要

本发明提供一种减少大型玻璃基板等的片状基板因其自重而产生的弯曲量，从而防止弯曲应力导致的片状基板变形或破损的片状基板移动装载装置。从贮存装置1两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，通过使插入到贮存装置1的移动装载装置的机械手4在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入的片状基板5的移动装载装置中，前述支撑部由在相对支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件3a、3b构成，同时，前述机械手4由在机械手4的升降位置上，位于前述并列的支撑部件3a、3b之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部41；和位于前述相对的支撑部件3a、3b之间，连结前述横向机械手支撑部41的、长度方向的纵向机械手支撑部42构成。

主权项

1.一种片状基板的移动装载装置，从贮存装置的两侧向相对方向分别延伸设置支撑部，另一方面，通过使插入到贮存装置的移动装载装置的机械手在前述支撑部之间升降，而进行片状基板的取出和放入，其特征在于，前述支撑部由在相对的支撑部之间设置间隙而形成的多个并列的支撑部件构成，同时，前述机械手由：在机械手的升降位置上、位于前述并列的支撑部件之间的多个宽度方向的横向机械手支撑部；和位于前述相对的支撑部件之间、连结前述横向机械手支撑部的、长度方向的纵向机械手支撑部构成。