[发明专利]电子束记录装置及电子束记录方法无效
| 申请号： | 02124745.5 | 申请日： | 2002-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1393860A | 公开（公告）日： | 2003-01-29 |
| 发明（设计）人： | 佃雅彦;林一英;植野文章 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | G11B7/00 | 分类号： | G11B7/00;G11B7/26;G11B9/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用电子束记录装置曝光穴时，形成穴的前端和后端的形状一致、均匀形状的穴的电子束记录装置。电子束记录装置具有发射电子束的电子射线源；根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；遮蔽上述电子束的遮蔽板；载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台。电子束记录装置经遮蔽板的通过位置使上述电子束通过，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案。电压控制部控制外加到控制电极上的电压，使电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 记录 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电子束记录装置，是具有：发射电子束的电子射线源；根据规定的信息信号生成电压的电压控制部；根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极；遮蔽上述电子束的遮蔽板；载置抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台，使上述电子束通过经遮蔽板的通过位置，在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽，在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案的电子束记录装置；其特征在于：电压控制部控制外加到上述控制电极上的上述电压，使上述电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从上述通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。
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