[发明专利]积层压电器件及其制法和压电致动器有效
申请号: | 02125174.6 | 申请日: | 2002-06-28 |
公开(公告)号: | CN1396668A | 公开(公告)日: | 2003-02-12 |
发明(设计)人: | 中谷宏 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H01L41/083 | 分类号: | H01L41/083 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 陈瑞丰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种积层压电器件,包括分层压电体,这种压电体具有驱动侧外电极和连接侧外电极,它们布置在该分层压电体一个侧面处,其中提供由狭缝分隔所述分层压电体形成的多个致动器单元,所述狭缝从分层压电体的上表面延伸至其下表面。在分层压电体的一个侧面内形成切口部分,所述分层压电体内放置驱动侧外电极和连接侧外电极,使切口部分基本上与多个驱动内电极和连接内电极平行。所述切口部分的宽度使该切口部分能够从所述分层压电体的下表面到达狭缝底端上方的位置,但不能使它达到各驱动内电极。 | ||
搜索关键词: | 压电 器件 及其 制法 致动器 | ||
【主权项】:
1.一种积层压电器件,它包括:分层压电体,这种压电体包含驱动部分和连接部分,所述驱动部分中通过被置于其间的压电层被互相交替地叠置多个第一驱动内电极和第二驱动内电极,所述连接部分中通过被置于其间的压电层沿一叠层方向互相叠置多个连接内电极;至少一个驱动侧外电极和连接侧外电极分别处于与第一驱动内电极和各连接内电极电导通,它们基本上互相平行地排布在所述分层压电体的两个相对表面之一处;并且至少一个公用侧外电极处于与各第二驱动内电极和各连接内电极电导通,它被安置在所述分层的压电体的另一侧表面处;其中,由狭缝确定多个可分开驱动的致动单元,所述狭缝分开驱动部分的第一和第二驱动内电极,并且所述狭缝沿着叠层方向从驱动部分的上表面延伸至其下表面;在所述分层压电体的一个侧面内形成切口部分,驱动侧外电极和连接侧外电极基本上平行地布置在所述分层压电体内,使所述切口部分基本上与各驱动内电极和连接内电极平行;所述切口部分的深度使该切口部分能够从所述分层压电体的下表面延伸至所述狭缝底端上方的位置,但不能使该切口部分达到各驱动内电极。
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