[发明专利]半导体封装制造方法及其封装件无效
申请号: | 02125624.1 | 申请日: | 2002-07-25 |
公开(公告)号: | CN1471160A | 公开(公告)日: | 2004-01-28 |
发明(设计)人: | 谢文乐;黄宁;陈慧萍;蒋华文;张衷铭;涂丰昌;黄富裕;张轩睿;胡嘉杰;吕文隆;陈哲祯 | 申请(专利权)人: | 华泰电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L21/50;H01L21/60 |
代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 戈泊;王刚 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明是一种半导体封装制造方法及其封装件,是使用厚的耐热胶带,并在其表面上铺一层铜层,在铜层上涂上感光灵敏的抗物质(光阻剂),之后以光源经设有电路图案的负片曝晒,使光阻剂留在铜层表面上,再进行蚀刻作业以留下具有电路图案的铜线,再将裸芯片以引线接合形式(WireBonding)或倒装片形式(F1ip Chip)与铜线路接合后,以适用的封装方式封装后,撕去耐热胶带而成的封装件。 | ||
搜索关键词: | 半导体 封装 制造 方法 及其 | ||
【主权项】:
1.一种半导体封装制造方法及其封装件,包括以耐热胶带为基垫,并在其上制作电路布线后与芯片作电性接合并封装成型后,移除耐热胶带成为一封装件。
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