[发明专利]抛光组合物及使用它的抛光方法有效

专利信息
申请号: 02127360.X 申请日: 2002-07-23
公开(公告)号: CN1398939A 公开(公告)日: 2003-02-26
发明(设计)人: 酒井谦儿;玉井一诚;北村忠浩;松田刚;伊奈克芳 申请(专利权)人: 不二见株式会社
主分类号: C09G1/02 分类号: C09G1/02
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 朱黎明
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种抛光组合物,它包含(a)至少一种选自二氧化硅和氧化铝的研磨剂;(b)至少一种有机化合物,它选自聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚氧乙烯烷基醚、聚氧丙烯烷基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚和由式(1)表示的具有C≡C三键的聚氧化烯加聚物其中R1-R6各是H或C1-10烷基,X和Y各是乙烯氧基或丙烯氧基,m和n各是1-20的正整数;(c)至少一种选自柠檬酸、草酸、酒石酸、甘氨酸、α-丙氨酸和组氨酸的加速抛光的化合物;(d)至少一种选自苯并三唑、苯并咪唑、三唑、咪唑和甲苯三唑的防腐蚀剂;(e)过氧化氢;以及(f)水。
搜索关键词: 抛光 组合 使用 方法
【主权项】:
1.一种抛光组合物,它包含:(a)至少一种选自二氧化硅和氧化铝的研磨剂;(b)至少一种有机化合物,它选自聚环氧乙烷、聚环氧丙烷、聚氧乙烯烷基醚、聚氧丙烯烷基醚、聚氧乙烯聚氧丙烯烷基醚和由式(1)表示的具有C≡C三键的聚氧化烯加聚物:其中R1-R6各是H或C1-10烷基,X和Y各是乙烯氧基或丙烯氧基,m和n各是1-20的正整数,(c)至少一种选自柠檬酸、草酸、酒石酸、甘氨酸、α-丙氨酸和组氨酸的加速抛光的化合物;(d)至少一种选自苯并三唑、苯并咪唑、三唑、咪唑和甲苯三唑的防腐蚀剂;(e)过氧化氢;以及(f)水。
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