[发明专利]微小尺寸测量装置有效
| 申请号： | 02127864.4 | 申请日： | 2002-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN1400450A | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 清水高博;小菅正吾 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立国际电气 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G02B21/36;H04N5/225;G06T1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种以从摄像装置中输出的图像信息为基础来对测量对象物的尺寸进行测量的微小尺寸测量装置，能稳定而准确地进行测量作业。根据预先记录的上述测量条件，拍摄上述测量对象物，把获得的样品图像信息存储到上述存储装置内，根据上述被记录的测量条件来测量上述测量对象物时，对与此相对应的被记录的图像信息进行显示。 | ||
| 搜索关键词： | 微小 尺寸 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、一种微小尺寸测量装置，其特征在于具有：显微镜，其具有放置测量对象物的载物台；摄像装置，其拍摄由该显微镜放大后的上述测量对象物的放大图像；以及记录装置，其记录与上述测量对象物相对应的测量条件，根据该被记录的测量条件，以从上述摄像装置中输出的图像信息为基础，测量上述测量对象物的尺寸，根据预先记录的上述测量条件，拍摄上述测量对象物，把获得的样品图像信息存储到上述存储装置内，根据上述被记录的测量条件来测量上述测量对象物时，对上述被记录的样品图像信息进行显示。
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