[发明专利]化学放大型正性抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 02132225.2 | 申请日： | 2002-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN1407405A | 公开（公告）日： | 2003-04-02 |
| 发明（设计）人： | 末次益实;山田爱理;上谷保则 | 申请（专利权）人： | 住友化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈长会 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，包括酚醛清漆树脂、在碱性水溶液中本身不可溶或可溶性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的树脂，和酸生成剂，其中当酚醛清漆树脂通过凝胶渗透色谱(GPC)利用254nmUV检测器、以聚苯乙烯作标准物进行测试时，基于除了未反应单体之外的总图案面积计，分子量为1000或更小的组分的面积比为25％或更小。该化学放大型正性抗蚀剂组合物在不恶化基本性能例如灵敏度、分辨率等的情况下能够降低费用，并且由于驻波引起的不均匀性小，能够改善图案轮廓、特别是线边缘粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 大型 正性抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种化学放大型正性抗蚀剂组合物，包括酚醛清漆树脂、在碱性水溶液中本身不可溶或可溶性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的树脂，和酸生成剂，其中当酚醛清漆树脂通过凝胶渗透色谱(GPC)利用254nmUV检测器、以聚苯乙烯作标准物进行测试时，基于除了未反应单体之外的总图案面积计，分子量为1000或更小的组分的面积比为25％或更小。
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