[发明专利]石英管清洗台的超纯水回收管线系统

摘要

本发明提供一种石英管清洗台的超纯水回收管线系统，该石英管清洗台具有一超纯水清洗槽、第一化学清洗槽与第二化学清洗槽。该超纯水回收管线系统包括：第一清洗水排水管，其一端与该超纯水清洗槽相连接，另一端则导引至一超纯水回收预处理系统；第一气阀，其设置于该第一清洗水排水管上邻近于该超纯水清洗槽处；第二清洗水排水管，其一端连接于该第一清洗水排水管且介于该超纯水清洗槽与该第一气阀之间，另一端则导引至该超纯水回收预处理系统；第二气阀；一稀酸排水管；第三气阀；一浓酸排水管；第一化学清洗槽排水管；第四气阀；第二化学清洗槽排水管；以及第五气阀。藉由控制这些气阀，用以回收该超纯水清洗槽所排放的废水。

主权项

1.一种清洗台的超纯水回收管线系统，其中该清洗台具有一超纯水清洗槽、第一化学清洗槽与第二化学清洗槽，该超纯水回收管线系统包括：第一清洗水排水管，其一端与该超纯水清洗槽相连接，另一端则导引至一超纯水回收预处理系统；第一气阀，其设置于该第一清洗水排水管上邻近于该超纯水清洗槽处；第二清洗水排水管，其一端连接于该第一清洗水排水管与该第一气阀之间，另一端则导引至该超纯水回收预处理系统；第二气阀，其设置于该第二清洗水排水管上邻近于该第一清洗水排水管连接处；一稀酸排水管，其一端连接于该第一清洗水排水管与该第一气阀之间，另一端则导引至一稀酸收集槽；第三气阀，其设置于该稀酸排水管上邻近于该第一清洗水排水管连接处；一浓酸排水管，藉以收集浓酸废液并导引至一浓酸收集槽；第一化学清洗槽排水管，其一端与该第一化学清洗槽连接，另一端则与该浓酸排水管相连接，用以排放该第一化学清洗槽的废液至浓酸排水管；第四气阀，其设置于该第一化学清洗槽排水管上；第二化学清洗槽排水管，其一端与该第二化学清洗槽连接，另一端则与该浓酸排水管相连接，用以排放该第二化学清洗槽废液至该浓酸排水管；以及第五气阀，其设置于该第二化学清洗槽排水管上，藉由控制这些气阀，以回收该超纯水清洗槽所排放的废水。