[发明专利]界面结合强度的远紫外激光划痕测量方法及装置

摘要

本发明涉及激光检测与材料性能检测技术领域，其以连续加载的脉冲远紫外激光束通过入射激光束光路系统直接加载于试件的薄膜表面，通过光离解、光致变价、形成晶格缺陷、等离子化等作用实现对材料的剥蚀加工，对有些材料，光子甚至可直接打破分子或晶体之间的结合键，使薄膜材料产生剥落。同时，进给系统使试件作进给运动，激光束在薄膜表面形成深度逐渐增加的划痕，直至膜－基体界面破坏，用膜基界面破坏时的激光束能量经一定数学模型处理后来表征膜基体界面的结合强度。适用于各种硬质工具膜、装饰膜系、装饰功能膜、DLC薄膜、有机高分子材料、复合材料以及其它类型的界面结合强度的测定。

主权项

1.界面结合强度的远紫外激光划痕测量方法，其特征在于以连续加载的脉冲远紫外激光束通过外光路系统加载于试件的薄膜表面，通过光离解、光致变价、形成晶格缺陷、等离子化等作用实现对材料的剥蚀加工，使薄膜材料产生剥落。同时，进给系统使试件作进给运动，激光束在薄膜表面形成深度逐渐增加的划痕，直至膜-基体界面破坏。检测信号经检测光束光路系统传输到与控制系统相连的信号采集检测系统、信号分析处理系统进行检测判断，同时，激光源参数采集系统实时测量采集激光束参数，用膜基界面破坏时的激光束能量经一定数学模型处理后来表征膜基体界面的结合强度。