[发明专利]模块化的喷射器和排放装置无效
| 申请号： | 02141805.5 | 申请日： | 2002-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN1397662A | 公开（公告）日： | 2003-02-19 |
| 发明（设计）人： | 杰伊·B·德东特尼;理查德·H·马西森;塞缪尔·库里塔 | 申请（专利权）人： | ASML美国公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范莉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于输送气体到基片上的喷射器和排气装置，它包括至少两个彼此相邻且间隔设置以在其间形成至少一个排放通道的喷射器；和一个用于固定至少两个喷射器的安装板，其中至少两个喷射器中的每一个可单独安装到安装板或从安装板拆下，且安装板带有与至少一个排放通道连通的至少一个排放槽。排气装置固定到安装板以从喷射器排放气体。 | ||
| 搜索关键词： | 模块化 喷射器 排放 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于输送气体到基片上的喷射器装置，包括：至少两个彼此相邻并间隔设置以在其间形成至少一个排放通道的喷射器；和一个用于固定至少两个喷射器的安装板，其特征在于至少两个喷射器中的每一个可单独安装到安装板上或可从安装板上单独拆下的，且安装板设有与至少一个排放通道流通的至少一个排放槽。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
