[发明专利]光学元件的检查装置和光学元件的检查方法有效
| 申请号： | 02142775.5 | 申请日： | 2002-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1405601A | 公开（公告）日： | 2003-03-26 |
| 发明（设计）人： | 北林雅志;高户雄二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B27/62 | 分类号： | G02B27/62;G02B27/18;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩,李峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供可以检查光学元件中的各个反射面的相对位置的光学元件的检查装置和光学元件的检查方法。具备设置十字分色棱镜45的台座610；对于上述4个反射面中的任何一个以45度入射角导入测定光，同时检测其返回光的自动准直仪620；仅仅向左侧区域和右侧区域中的任何一个区域导入测定光切换装置630。借助于切换装置630，采用仅仅向色反射面中的任何一方的区域的反射面导入测定光的办法，就可以简单地检查各个色反射面中的2个反射面间的相对位置。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学元件的检查装置，该装置用于检查光学元件的各个反射面的相对位置，所说的光学元件的构成为具有从与入射光束的光轴垂直相交的方向来看，使入射角为45度地配置成X字形状的4个反射面，并且沿着X字的一方的延长方向的一组反射面反射与另外一组的反射面不同的波长区域的光束，其特征在于具备：设置作为检查对象的光学元件的台座；对于上述4个反射面中的任何一个以45度入射角导入测定光的测定光导入部；检测从该测定光导入部导入到上述光学元件中的测定光的返回光的返回光检测部；从上述测定光的导入方向来看，仅向由一组的反射面和另外一组的反射面的交叉线区划的2个区域中的任何一个区域导入上述测定光的测定光切换部。
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