[发明专利]电镀测试器的阴极卡盘有效
| 申请号： | 02146737.4 | 申请日： | 2002-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1451788A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 山本渡 | 申请（专利权）人： | 株式会社山本镀金试验器 |
| 主分类号： | C25D17/06 | 分类号： | C25D17/06;C25D17/08;H01L21/288 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于电镀测试器的阴极卡盘，该阴极卡盘N包括：阴极导体10，它使作为待镀物的硅晶片W的待镀表面Wa导电；第一绝缘体20，它覆盖硅晶片W的正面(待镀表面Wa)并保持阴极导体10；以及第二绝缘体30，它覆盖硅晶片W的背面(与待镀表面Wa相反的面)并保持硅晶片W。除硅片W的待镀表面Wa以外的阴极部分用嵌入第一绝缘体20的第一O形环22和嵌入第二绝缘体32的第二O形环32与电镀液隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 测试 阴极 卡盘 | ||
【主权项】：
1.一种用于电镀测试器的阴极卡盘，包括：一个扁平阴极导体，其包括一个开口，该开口具有与作为阴极板的待镀物的待镀表面相同的外形、多个与待镀表面的边缘接触的突起、以及在不浸入电镀液的部分可与电源负极连接的电源连接部分；一个扁平第一绝缘体，其覆盖待镀物的一个待镀表面，并包括一个与待镀表面有同样外形的开口、一个沿开口周边缘形成并在其中嵌入第一密封剂的密封剂嵌入槽、一个形成于第一密封剂嵌入槽的外侧且在其中嵌入阴极导体的阴极导体嵌入槽、和与阴极导体嵌入槽相邻形成并在其中插入电源连接部分的电源连接部分插槽；以及一个扁平第二绝缘体，其覆盖与待镀物的待镀表面相反的表面，并包括一个嵌入待镀物的待镀物嵌入槽、和位于待镀物嵌入槽外侧并在其中嵌入第二密封剂的第二密封嵌入槽，当第一绝缘体与第二绝缘体结合时，该第二密封嵌入槽位于电源连接部分插槽入口的外侧，其中，第一绝缘体与第二绝缘体结合在一起，以便使第一绝缘体和第二绝缘体将待镀物和阴极导体夹在中间。
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