[发明专利]恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法及其光刻装置无效
| 申请号： | 02153269.9 | 申请日： | 2002-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1503063A | 公开（公告）日： | 2004-06-09 |
| 发明（设计）人： | 赵立新;胡松;王肇志;陈兴俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22;G02B26/10;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 恒定光源步进扫描实现大面积光刻的方法，利用光源步进扫描，扫描单元为高均匀度、恒功率小光源，沿X方向扫描，沿Y方向步进拼接来实现，扫描单元的形状为一对锐角小于60度的平行四边形。恒定光源步进扫描实现大面积光刻的装置由电机、传动机构、扫描头、导轨、机架构成，电机轴与传动机构中的光杆连接，扫描头架在导轨上，扫描头采用闭环开关电源控制光源，整个装置固定在机架上。采用光源步进扫描，扫描的过程中不会对掩模和样片的相对位置产生影响；扫描装置采用闭环开关电源控制光源，保证功率恒定。本发明的优点在于：所得到的大面积光刻具有高的均匀度和分辨力，从而克服大面积光源的不足，且装置结构简单、造价低。 | ||
| 搜索关键词： | 恒定 光源 步进 扫描 实现 大面积 光刻 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1、恒定光源步进扫描实现大面积光刻方法，其特征在于：利用光源步进扫描，扫描单元为高均匀度、恒功率小光源，沿X方向扫描，沿Y方向步进拼接来实现。
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