[发明专利]生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统无效
| 申请号： | 02154759.9 | 申请日： | 2002-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1416076A | 公开（公告）日： | 2003-05-07 |
| 发明（设计）人： | 中尾隆;牛久幸广;佐俣秀一;赤堀浩史;石井贤 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G06F17/00 | 分类号： | G06F17/00;G06F17/60;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杜日新 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 生产装置的故障诊断方法和故障诊断系统，可在制造多品种工业制品的情况下自动应对进行故障诊断。包括被诊断生产装置5；测定被诊断生产装置5的特征量的特征量传感器32～37；驱动控制被诊断生产装置5的实时控制控制器531；根据特征量传感器32～37的输出进行故障实时判定的模块533；将参照生产装置的特征量的数据作为装置信息数据库记录的装置信息存储装置103；包含驱动控制被诊断生产装置5的制造过程序列的方法和负荷试验序列的方法的过程管理信息数据库并向实时控制控制器531输出方法的过程管理信息存储装置102。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 装置 故障诊断 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种生产装置的故障诊断方法，其特征在于包括下列步骤：对于进行与成为诊断对象的被诊断生产装置相同或类似的处理的参照生产装置，进行特征量的时间系列数据的测定，将该测定结果作为装置信息数据库记录在装置信息存储装置中；读出在过程管理信息存储装置中记录的过程管理信息数据库中记载的方法；根据该方法驱动控制上述被诊断生产装置，将上述特征量的时间系列数据作为试验数据进行测定，实时输出该试验数据；对上述负荷试验数据进行运算处理制作故障诊断数据；使用该故障诊断数据和上述装置信息数据库进行上述被诊断生产装置的故障诊断。
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