[发明专利]防止洁净室静电放电的方法有效
| 申请号： | 02156597.X | 申请日： | 2002-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1452446A | 公开（公告）日： | 2003-10-29 |
| 发明（设计）人： | 张光晔 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/00 | 分类号： | H05F3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈红 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种防止洁净室静电放电的方法，可于一具有一层流装置的洁净室中去除静电荷，该洁净室中具有一层流装置，设置于该洁净室的天花板上；本发明先提供至少一设置于该层流的中具有一第一高度的离子产生器，该离子产生器包含有至少一发射管，且各该发射管的至少一输出端正对于该天花板，然后再提供至少一设置于该层流的中且具有一第二高度的传输系统，用以传送至少一载具，最后利用至少一电压源施加于各该发射管之上，以去除该洁净室中的静电荷；本发明将该离子产生器的发射管的输出端正对于该天花板，可避免因电场强度会超过规格的上限而对自动传输轨道上的载具所携的材料造成破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 洁净室 静电 放电 方法 | ||
【主权项】：
1.一种于一具有一层流装置的洁净室中去除静电荷的方法，该层流装置设置于该洁净室的一天花板之上，其特征是：该方法包含有：提供至少一设置于该层流的中具有一第一高度的离子产生器，该离子产生器包含有至少一发射管，且各该发射管的至少一输出端正对于该天花板；提供至少一设置于该层流的中且具有一第二高度的传输系统，用以传送至少一载具；以及利用至少一电压源施加于各该发射管之上，以去除该洁净室中的静电荷。
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