[发明专利]一种用于砷化镓单晶生长光学测径的方法无效
| 申请号： | 02157934.2 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1510177A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;张峰燚;石瑛;郑杰;周新民;朱力;马庆祥;王钺 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C30B15/26 | 分类号： | C30B15/26 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 100088北京市新街口*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于砷化镓单晶生长光学测径的方法，采用数码摄像机、数字滤波器、计算机及显示输出设备由传输线缆相连接组成，实现步骤包括：A.采集砷化镓单晶不连续弯月面的图像信息；B.对采集到的不连续弯月面边界上的测量点进行选择；C.对选出的测量点进行计算，求出单晶直径的数值；D.输出算出的单晶直径的结果。由于本发明采用以上步骤实施，故可以直接获得晶体直径的数据，并可避免由液封剂浮力变化、旋转机构转速变化、拉速变化、晶体重心与旋转轴不重合等原因造成的测量误差，使直径的测量值更加准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 砷化镓单晶 生长 光学 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于砷化镓单晶生长光学测径的方法，采用数码摄像机、数字滤波器、计算机及显示输出设备，由传输线缆相连接组成，其特征在于：它的实现包括以下步骤：A、采集砷化镓单晶不连续弯月面的图像信息；B、对采集到的不连续弯月面边界上的测量点进行选择；C、对选出的测量点进行计算，求出单晶直径的数值；D、输出算出的单晶直径的结果。
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