[发明专利]单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法有效
| 申请号： | 02157935.0 | 申请日： | 2002-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1510176A | 公开（公告）日： | 2004-07-07 |
| 发明（设计）人： | 屠海令;张峰燚;石瑛;郑杰;周新民;朱力;马庆祥;王钺 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡福恒 |
| 地址： | 100088北京市新街口*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法，该测试系统主要由数据采集单元、信号汇集转发单元、模/数转换单元、数据分析处理单元和数据显示输出单元组成，各单元之间通过信号线进行连接；使用本发明提供的测试系统和测试方法可以方便、准确地测量单晶炉热场的三维分布情况，可以快速获得在热场中分布比较均匀的几百万个以上的资料点，并将测试结果自动记录入数据库，绘制出比较精确的热场三维温度分布图，并可作任意角度的二维剖面图，得到比较真实的温度分布剖面图，为单晶炉热场研究提供了一种方便的测试设备。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 三维 分布 全自动 测试 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种单晶炉三维热场分布全自动测试系统，其特征在于：它主要由数据采集单元、信号汇集转发单元、模/数转换单元、数据分析处理单元和数据显示输出单元组成，各单元之间通过信号线进行连接；所述数据采集单元由热电偶阵列、高度信号传感器和偏转角度信号传感器组成；所述信号汇集转发单元由信号汇集环和信号转发器组成；所述数据分析处理单元由计算机数据处理软件、资料存储系统和热场分析系统组成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京有色金属研究总院，未经北京有色金属研究总院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/02157935.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：硅片和生产单晶硅的方法
- 下一篇：一种用于砷化镓单晶生长光学测径的方法
