[实用新型]曝光机的近似平行光控制增益结构无效

专利信息
申请号: 02205980.6 申请日: 2002-03-18
公开(公告)号: CN2539206Y 公开(公告)日: 2003-03-05
发明(设计)人: 林严信 申请(专利权)人: 北京大祥机械国际有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京集佳专利商标事务所 代理人: 贾晓玲
地址: 100015 北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种曝光机的近似平行光控制增益结构,在灯箱的底部设置一反光板、一紫外线灯管,在紫外线灯管上方设有数片横向间隔排列的阻光片,另设一隔热玻璃和数片纵向间隔排列的阻光板。灯箱设置在曝光机内近透光台面一定距离处,并可位移活动,利用阻光片、阻光板加以阻断0°至10°左右以外的紫外线灯管放射光线,仅令0°至10°左右以内的光线通过,并形成近似平行光的光源,再利用往复位移曝光方式,以达提高曝光的准确精密度。
搜索关键词: 曝光 近似 平行 控制 增益 结构
【主权项】:
1、一种曝光机的近似平行光控制增益结构,其特征是:在灯箱的底部设置一反光板、一紫外线灯管,在紫外线灯管上方设有数片横向间隔排列的阻光片,另设一隔热玻璃和数片纵向间隔排列的阻光板。
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