[实用新型]曝光机的近似平行光控制增益结构无效
申请号: | 02205980.6 | 申请日: | 2002-03-18 |
公开(公告)号: | CN2539206Y | 公开(公告)日: | 2003-03-05 |
发明(设计)人: | 林严信 | 申请(专利权)人: | 北京大祥机械国际有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人: | 贾晓玲 |
地址: | 100015 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种曝光机的近似平行光控制增益结构,在灯箱的底部设置一反光板、一紫外线灯管,在紫外线灯管上方设有数片横向间隔排列的阻光片,另设一隔热玻璃和数片纵向间隔排列的阻光板。灯箱设置在曝光机内近透光台面一定距离处,并可位移活动,利用阻光片、阻光板加以阻断0°至10°左右以外的紫外线灯管放射光线,仅令0°至10°左右以内的光线通过,并形成近似平行光的光源,再利用往复位移曝光方式,以达提高曝光的准确精密度。 | ||
搜索关键词: | 曝光 近似 平行 控制 增益 结构 | ||
【主权项】:
1、一种曝光机的近似平行光控制增益结构,其特征是:在灯箱的底部设置一反光板、一紫外线灯管,在紫外线灯管上方设有数片横向间隔排列的阻光片,另设一隔热玻璃和数片纵向间隔排列的阻光板。
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