[实用新型]连续激光陶瓷划片机无效

专利信息
申请号: 02215514.7 申请日: 2002-02-01
公开(公告)号: CN2529385Y 公开(公告)日: 2003-01-01
发明(设计)人: 沈冠群;汪秀琳;吴宾初;姜兆华;蔡康泽;张伟 申请(专利权)人: 上海市激光技术研究所
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;B23K26/00
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 左一平
地址: 20023*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种连续激光陶瓷划片机,包括激光器、机柜部件、工作台以及控制该划片机工作的控制电路;激光器包括外壳,设在外壳内的反射膜片、声光开关、光闸、聚光腔、全反射膜片,在同一中心线上顺序间隔设置,激光器位于机柜部件上方;机柜内上方左侧设有激光电源,声光电源,中间设有主控制台,右侧设有操作台;工作台设在机柜一侧,工作台上方设有的光学聚焦装置与激光器激光输出口相对应,中部设有加工台,加工台下方设有驱动器,由电缆线分别与操作台连接,其特点是,机柜内底部设有双水冷温控装置;加工台面上方设有吸片装置;其侧边设有吸尘管。本实用新型具有稳功率产生连续激光划片功能,陶瓷基板划线细,表面光洁,断面光滑。
搜索关键词: 连续 激光 陶瓷 划片
【主权项】:
1、一种连续激光陶瓷划片机,包括激光器、机柜部件、工作台以及控制该划片机工作的控制电路;所述的激光器包括外壳,设在外壳内的反射膜片、声光开关、光闸、聚光腔、全反射膜片,在同一中心线上顺序间隔设置,激光器位于机柜部件上方;所述的机柜内上方左侧设有激光电源、声光电源,中间设有主控制台,右侧设有操作台;所述的工作台设在机柜一侧,工作台上方设有的光学聚焦装置与激光器激光输出口相对应,中部设有加工台,加工台下方设有驱动器,由电缆线分别与操作台连接;其特征在于:所述的聚光腔设为单椭圆腔体,其腔体内设有氪灯、掺钕钇铝石榴石棒,聚光腔体内全浸水,流通去离子循环冷水,氪灯两端通过电缆线与激光电源两端连接;所述的机柜内底部设有双水冷温控装置;所述的加工台上方设有吸片装置;其侧边设有吸尘管。
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