[实用新型]法兰结构的硅压阻式压力传感器无效
| 申请号： | 02220468.7 | 申请日： | 2002-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN2539161Y | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 赵建立;黄标;佘德群;高峰;李维平 | 申请（专利权）人： | 赵建立;黄标;佘德群;高峰;李维平 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210028 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及的是一种由硅压力芯体和外部接口封装而成的法兰结构硅压阻式压力传感器，被测介质的压力是通过外部接口传递给硅压力芯体，属于仪器仪表测量技术领域。其结构主要由法兰主体、盖环、硅芯片、膜片、硅油、金丝、瓷环、玻璃绝缘子、引脚、“O”型密封圈组成，其中法兰主体、盖环、膜片通过焊接连在一起，法兰主体上有安装定位孔，引脚和法兰主体通过玻璃绝缘子烧结在一起，瓷环安装在引脚上，硅芯片粘贴在法兰主体的中心部位，并通过金丝和引脚焊接在一起，法兰主体的内部充满硅油。本实用新型的优点法兰结构具有安装方便，可冲洗，可测粘稠的介质为防堵型、高频响等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 法兰 结构 硅压阻式 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、法兰结构的硅压阻式压力传感器，其特征是由法兰主体(1)、盖环(2)、硅芯片(3)、膜片(4)、硅油(5)、金丝(6)、瓷环(7)、玻璃绝缘子(8)、引脚(9)、“O”型密封圈(10)组成，其中法兰主体(1)、盖环(2)、膜片(4)通过焊接连在一起，法兰主体(1)上有安装定位孔，引脚(9)和法兰主体(1)通过玻璃绝缘子(8)连结在一起，瓷环(7)安装在引脚(9)上，硅芯片(3)粘贴在法兰主体(1)的中心部位，并通过金丝(6)和引脚(9)接在一起，法兰主体(1)的内部充满硅油(5)。
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