[实用新型]用于集成电路测试的纳米管探针结构无效
| 申请号： | 02260482.0 | 申请日： | 2002-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN2574215Y | 公开（公告）日： | 2003-09-17 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 台湾省新竹县 竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于集成电路测试的奈米管探针结构，包括有一基板及至少一连接于该基板的探测板，该探测板相对于待测晶片处设有探测元件，该探测元件由多根纳米碳管构成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 集成电路 测试 纳米 探针 结构 | ||
【主权项】：
1、一种用于集成电路测试的纳米管探针结构，系用以测试晶圆上的晶片，其特征在于包括：一基板；至少一连接于前述基板的探测板，该探测板相对于待测晶片处设有探测元件，该探测元件由多根纳米碳管构成。
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