[实用新型]一种多功能的等离子体和激光束联合处理材料的装置无效
| 申请号： | 02264887.9 | 申请日： | 2002-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN2550376Y | 公开（公告）日： | 2003-05-14 |
| 发明（设计）人： | 吴嘉达;李富铭;钟晓霞 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 姚静芳 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种等离子体和激光束联合材料处理装置。现有技术尚无将两者结合起来对材料进行加工处理的装置。本实用新型装置的材料处理室直接和微波放电腔连通，材料处理室还有多个光学窗口，可以从不同角度将激光束引入材料处理室，从而对材料进行等离子体和激光束联合加工处理。被处理材料在材料处理室中的位置和取向以及在处理过程中的移动和转动可以通过磁传动机构在处理室外灵活操纵。若关闭微波放电部分或者关闭激光器，本装置即是单一的激光束或者单一的等离子体处理装置。本装置结构紧凑而操作简捷，各功能切换方便，处理效果显著。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 等离子体 激光束 联合 处理 材料 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体和激光束联合处理材料的装置，主要由微波装置、放电装置、配气装置、真空机组、材料处理室组成，其特征是：微波装置中的微波源(1)后联接微波传输耦合装置(2)，其后联放电装置；放电装置中的电子回旋共振微波放电腔(3)上端联配气装置(5)，放电腔外有电磁线圈(4)，放电腔与材料处理室(6)直接联通，处理室有光学窗口；真空机组(7)联接处理室；激光器(9)置于处理室外部，它输出的激光束经由光学元件(10)从光学窗口引入处理室；被处理材料(11)置于处理室内的样品架(12)，处理室内置有一源材料靶(12)。
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