[发明专利]获得整体单晶性含镓氮化物的方法及装置有效

专利信息
申请号: 02802023.5 申请日: 2002-05-17
公开(公告)号: CN1526037A 公开(公告)日: 2004-09-01
发明(设计)人: 罗伯特·托马什·德威林斯基;罗曼·马雷克·多拉辛斯基;莱哲克·彼得·西芝普陶斯基;哲兹·卡兹尼斯基;神原康雄 申请(专利权)人: 波兰商艾蒙诺公司;日亚化学工业株式会社
主分类号: C30B9/00 分类号: C30B9/00;C30B7/00;C30B29/40
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 柳春琦
地址: 波兰*** 国省代码: 波兰;PL
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摘要: 发明涉及一种制备含镓氮化物结晶体的氨碱方法,其中是使含镓原料于含碱金属成分存在下,在超临界含氮溶剂中,于至少一个结晶化作用晶种上结晶。此方法可提供具有极高品质的单晶性含镓氮化物结晶体。
搜索关键词: 获得 整体 单晶性含镓 氮化物 方法 装置
【主权项】:
1.一种获得含镓氮化物结晶体的方法,其包括以下步骤:(i)在至少一个容器中提供含镓原料,含碱金属成份,至少一个结晶化作用晶种,及含氮溶剂;(ii)使该含有碱金属离子的含氮溶剂成为超临界状态;(iii)在第一个温度与第一个压力下,至少部分溶解该含镓原料;及(iv)在第二个温度与第二个压力下,使含镓氮化物结晶于该结晶化作用晶种上,同时该含氮溶剂是呈超临界状态;其中符合至少一个下列标准:(a)第二个温度高于第一个温度;与(b)第二个压力低于第一个压力。
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