[发明专利]脆性材料基片的倒角方法以及倒角装置无效
| 申请号： | 02804763.X | 申请日： | 2002-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN1491144A | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 若山治雄 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;C03B29/08;H01L21/304;//B23K101:40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏;杨松龄 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 形成椭圆形状的第1激光点(LS1)，其一端位于玻璃基片(50)的侧边缘的预定倒角的棱边(51)上。第1激光点(LS1)的长轴相对棱边成为倾斜θ角度的状态，另一端位于棱边(51)的附近部分。第1激光点(LS1)的热能强度，在位于棱边(51)的附近部分的端部小，而在预定倒角的棱边(51)上的端部达到最大。当玻璃基片(50)在X方向移动时，玻璃基片(50)的棱边(51)的附近部分由第1激光点(LS1)预热之后，棱边(51)熔融而倒角。另外，棱边(51)熔融倒角之后，由第2激光点(LS2)加热，通过使基片退火，缓和了残留应力，可以防止微小裂缝的发生。这样，就可以不产生裂缝而可靠地倒角玻璃基片的棱边(51)。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 倒角 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种脆性材料基片的倒角方法，其特征在于：具有预热工序和熔融工序，上述预热工序是对脆性材料基片的侧边缘的预定倒角的棱边的附近部分，沿着该棱边来连续加热，上述熔融工序紧接着该预热工序，是对该棱边连续加热而使其熔融。
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