[发明专利]用于拉晶机的热屏蔽组件

摘要

一种供在拉晶机中使用的热屏蔽组件具有一个外反射器，所述外反射器在从熔化的源材料提拉晶锭时设置在晶锭和坩埚之间。一个冷却屏蔽插在晶锭和外反射器之间，从而使所述冷却屏蔽暴露于从晶锭辐射出的热之下，用以增加晶锭冷却的速率，由此增加了晶锭的轴向温度梯度。在另一个实施例中，一个内屏蔽板一般与冷却屏蔽成径向间隔开的关系设置在冷却屏蔽和晶锭之间，并用一种基本上可透过来自晶锭的辐射热的材料制造。

主权项

1.一种供在拉晶机中使用的热屏蔽组件，上述拉晶机用于从熔化的半导体源材料生长单晶锭，拉晶机具有一个外壳、一个坩埚、一个加热器和一个提拉机构，上述坩埚包含在外壳中用于装熔化的半导体源材料，上述加热器与坩埚热连通用于将坩埚加热到一个足以熔化坩埚所装的半导体源材料的温度，上述提拉机构设置在坩埚上方用于从坩埚所装的熔化的源材料中提拉晶锭，上述热屏蔽组件设置在熔化的源材料上方并具有一个中央开口，上述中央开口的尺寸和形状加工成用于当从熔化的源材料提拉晶锭时围绕晶锭，上述热屏蔽包括：一个外反射器，它在从熔化的源材料提拉晶锭时插在晶锭和坩埚之间；及一个冷却屏蔽，它在从熔化的源材料提拉晶锭时插在晶锭和外反射器之间，该冷却屏蔽暴露于从晶锭辐射的热之下，用以增加晶锭冷却的速率，从而随着从熔化的源材料提拉晶锭而增加晶锭的轴向温度梯度，外反射器基本挡住冷却屏蔽免受坩埚所辐射的热。