[发明专利]带有可移动透镜的光刻装置和在存储媒体中制作数字全息图的方法有效
| 申请号： | 02807622.2 | 申请日： | 2002-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN1500233A | 公开（公告）日： | 2004-05-26 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·诺特;克利斯托弗·迪特利奇;罗伯特·托曼;斯蒂凡·斯塔德勒;约恩·雷博 | 申请（专利权）人： | 特萨斯克里伯斯有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03H1/08;G03F1/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蒋世迅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在存储媒体(4)中制作数字全息图的光刻装置，该光刻装置包括：以预定光束截面产生写入光束(12)的光源(6，10)；把写入光束(12)聚焦在待写入的存储媒体(4)上的写入透镜(14)，该写入透镜(14)被安放在透镜托架(16)中；和用于使写入光束相对于存储媒体作两维运动的驱动装置。通过光学光刻装置，解决尽可能快地、并以少的努力写入计算机产生全息图的技术问题，在于：设置第一驱动装置(18)，以便与写入光束(12)基本上成直角地移动透镜托架(16)，还在于：写入透镜(14)孔径小于写入光束(12)截面。本发明还涉及一种在存储媒体中制作全息图的光刻方法。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 移动 透镜 光刻 装置 存储 媒体 制作 数字 全息图 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在存储媒体(4)中制作数字全息图的光刻装置，包括：以预定光束截面产生写入光束(12)的光源(6，10)；把写入光束(12)会聚在待写入的存储媒体(4)上的写入透镜(14)，该写入透镜(14)置于透镜托架(16)内；和使写入光束(12)相对于存储媒体(4)作两维运动的驱动装置。
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