[发明专利]离子源灯丝和方法无效
| 申请号： | 02807672.9 | 申请日： | 2002-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1526154A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 詹米·M·雷耶斯 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备联合公司 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/08 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 这项发明提供离子源灯丝以及相关联的方法和装置。这种离子源灯丝具有与某些传统的离子源灯丝相比发射电子的表面区域(即活性部分)较小的设计。适当的设计包括具有V－形或U－形活性部分的灯丝，而不是在某些传统的离子源灯丝中的那种卷曲的活性部分。这项发明的离子源灯丝能提高离子生成的效率，尤其是多电荷离子的生成效率。这种提高的离子生成效率可以使形成具有适合植入的较高的束电流的离子束成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 灯丝 方法 | ||
【主权项】：
1.一种离子源，其中包括：电弧室；以及至少有一部分位于电弧室中的灯丝，该灯丝包括一对通过非卷曲的顶部结合起来的支臂构件，顶部定义V-形或U-形的形状。
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